宇航计测技术 ›› 2013, Vol. 33 ›› Issue (5): 19-22.doi: 10.12060/j.issn.1000-7202.2013.05.04
吴爱华1;刘晨1;栾鹏1;孙晓颖1;梁法国1;郑延秋1
WU Ai-hua1;LIU Chen1;LUAN Peng1;SUN Xiao-ying1;LIANG Fa-guo1;ZHENG Yan-qiu1
摘要: 自动阻抗调配器在微电子行业应用越来越广泛,但是目前国内还没有计量技术机构开展该类仪器的计量校准工作,本文介绍了其机械结构、工作原理,设计了控制模型,组建了校准系统,实现了主要参数矢量重复性、驻波比和插入损耗的校准工作。